15年專注精密自動(dòng)化設備研發廠家
產品名(míng)稱:半導體晶圓噴光刻膠一體機
產品介紹(shào):
歐力克斯自主設計研發的半導體(tǐ)晶圓噴光刻膠一體機,具有性價比(bǐ)高、靈(líng)活性(xìng)強、產(chǎn)能效率高等優勢;采用壓電噴射閥噴射速度快,點膠精度高,最小點(diǎn)徑0.2mm,最小線徑0.3mm,一(yī)致性高,非(fēi)接觸,避免針頭碰撞工件(jiàn);極(jí)小點膠量,適用(yòng)於更緊湊的空間。歐力克斯半導體精密點膠設備可以更好的滿足半導體行業(yè)點膠工藝需求。
點膠工(gōng)藝:
芯片的固定-紅膠、電氣的連接固定-銀漿、固定MEMS器件(jiàn)-矽膠、COB封(fēng)裝防護-環氧膠,芯(xīn)片錫球保護(Underfill)-環氧膠等
技術特點 晶圓點膠機,伺服絲杆,龍門結構,雙Y、雙X軸,運行穩定;搭載自研壓電式(shì)噴射(shè)閥,大視野視覺相機,點膠精度高 機械手搬運機構,采用(yòng)上銀4軸(zhóu)微小型機器人進(jìn)行搬運 機械(xiè)手自動把點好膠的晶圓搬運到真空烘烤機中,自動關閉艙門在真空環境中利用光(guāng)照烘烤固化
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