15年專注精(jīng)密自動化設備研發廠家
產品(pǐn)名稱:半導體晶圓噴光刻膠一體機
產品介紹(shào):
歐力克斯自主設計研發的半導體晶圓噴光刻膠一體機,具有性價比(bǐ)高、靈活性強、產能效率高(gāo)等優勢;采用壓電噴(pēn)射閥噴射速(sù)度快,點膠精(jīng)度高,最小點徑0.2mm,最小線徑0.3mm,一致性高,非接觸,避免針頭碰撞工件;極小點膠量,適用於更緊湊的空間。歐力克斯半(bàn)導體精密點膠設備可以更好的滿(mǎn)足半(bàn)導體行業點膠工藝需求。
點膠工(gōng)藝(yì):
芯片(piàn)的固定-紅膠、電氣的連接固定-銀漿、固(gù)定MEMS器件-矽膠、COB封裝防護-環(huán)氧膠,芯片(piàn)錫球保護(Underfill)-環氧膠等
技術特點 晶圓點膠機,伺服絲杆,龍門(mén)結構,雙Y、雙X軸,運行穩定;搭載自研壓電式噴射閥,大視野視覺相機,點膠精度高 機械手(shǒu)搬運機構,采用上銀4軸微小型機器人進(jìn)行搬運 機械手自動把點好膠的晶圓搬運到真空烘烤機(jī)中,自動關閉艙門在真空環境(jìng)中利用光照烘烤固化
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