
15年專注精密自動(dòng)化設備研發廠(chǎng)家
產品名稱(chēng):半導體晶圓噴光刻膠一體機
產品介紹:
歐力克斯自主設計研發的半導體晶圓噴光刻膠一體機,具有性價比高、靈活性強、產能效率高等優勢;采用壓電噴射閥噴射速度(dù)快,點膠精度高,最小點徑0.2mm,最小線徑0.3mm,一致性高,非接觸,避免針頭碰撞工件;極小點膠量,適用於更緊(jǐn)湊的空(kōng)間。歐力(lì)克斯半導體精密點膠設備可以更好的滿足半導體行(háng)業點膠工藝需求。
點膠工藝:
芯片的固(gù)定-紅(hóng)膠、電氣的連(lián)接固定-銀漿、固定MEMS器件(jiàn)-矽(guī)膠、COB封裝防護-環氧膠,芯片錫球保護(Underfill)-環氧膠等



技術特點(diǎn) 晶圓點膠機,伺服絲杆,龍門結構,雙(shuāng)Y、雙X軸,運行(háng)穩定(dìng);搭載自研壓電式噴射閥,大視野(yě)視覺相機,點膠精度高 機械手搬運機(jī)構,采用上銀4軸(zhóu)微小型機器人進行搬(bān)運 機械手自動把點好膠的晶圓搬運到真空烘烤機中(zhōng),自動關(guān)閉艙門在真空環境中利(lì)用光照烘烤固化









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